Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 60814 ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ КОНДЕНСАТОВ НА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЯХ РОСТА ИССЛЕДОВАНИЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ КОНДЕНСАТОВ НА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЯХ РОСТА Абдуллин И Ш Абдуллин И Ш abdullin_i@kstu.ru Васильев И И Васильев И И ilham.v@ya.ru Трофимов А В Трофимов А В КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru 01 08 2025 01 08 2025 16 8 59 60 19 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/60814/view

Исследовано формирование покрытия из нитридов тугоплавких металлов. Покрытие получали методом конденсации из плазменной фазы в условиях ионной бомбардировки. На начальных стадиях роста покрытия (до 15 секунд), при конденсации одним испарителем, на стальной подложке с потенциалом –150 В скорость роста в 2 раза выше чем на диэлектрике и достигает до 26 нм/с.

We investigated the forming a coating of nitrides of refractory metal. Coating obtained by condensation of the plasma phase in ion bombardment. Growth rate coating in the initial stages of the growth (15 seconds) on steel substrate with the potential-150V, 2 times greater than the dielectric and reaches up to 26 nm/s.

очистка поверхности ВЧЕ плазменная обработка surface cleaning high-frequency plasma processing очистка поверхности ВЧЕ плазменная обработка surface cleaning high-frequency plasma processing

Абдуллин И.Ш., Миронов М.М., Васильев И.И. Формирование наноструктурированного композиционного покрытия в плазме дугового разряда// Вестник Казан. технол. ун-та.- 2012, № 20. - С. 29-30. Abdullin I.Sh., Mironov M.M., Vasil'ev I.I. Formirovanie nanostrukturirovannogo kompozicionnogo pokrytiya v plazme dugovogo razryada// Vestnik Kazan. tehnol. un-ta.- 2012, № 20. - S. 29-30. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Известия Вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. М.: ЗАО «Калвис». №1, 2007. С. 53. Anciferov V.N., Kameneva A.L. Izvestiya Vuzov. Poroshkovaya metallurgiya i funkcional'nye pokrytiya. M.: ZAO «Kalvis». №1, 2007. S. 53. Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления / И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.Р. Сагбиев, М.Ф.Шаехов. - Казань: Изд-во Казан. технол. ун-та, 2007. - 356 с. Abdullin I.Sh. Modifikaciya nanosloev v vysokochastotnoy plazme ponizhennogo davleniya / I.Sh. Abdullin, V.S. Zheltuhin, I.R. Sagbiev, M.F.Shaehov. - Kazan': Izd-vo Kazan. tehnol. un-ta, 2007. - 356 s. Абдуллин И.Ш., Васильев И.И. Финишная подготовка поверхности нетеплостойких инструментальных сталей перед нанесением защитных покрытий Вестник Казан. технол. ун-та.- - 2013, № 5. - С. 180-181. Abdullin I.Sh., Vasil'ev I.I. Finishnaya podgotovka poverhnosti neteplostoykih instrumental'nyh staley pered naneseniem zaschitnyh pokrytiy Vestnik Kazan. tehnol. un-ta.- - 2013, № 5. - S. 180-181.