Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 60872 ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЕ ТИПОРАЗМЕРНОГО РЯДА БЕЗМАСЛЯНЫХ СПИРАЛЬНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ СОЗДАНИЕ ТИПОРАЗМЕРНОГО РЯДА БЕЗМАСЛЯНЫХ СПИРАЛЬНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ Бурмистров А В Бурмистров А В burm@kstu.ru Капустин Е Н Капустин Е Н kazan@vacma.ru Зиганшин Р Р Зиганшин Р Р ziganshin@vacma.ru КНИТУ ru КНИТУ ru ОАО «Вакууммаш» ru ОАО «Вакууммаш» ru ОАО «Вакууммаш» ru ОАО «Вакууммаш» ru 01 08 2025 01 08 2025 16 8 276 278 19 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/60872/view

Безмасляные вакуумные насосы находят все более широкое применение в индустрии наносистем и наноматериалов. В России спиральные вакуумные насосы в данный момент не производятся. Рассматриваются характеристики спиральных насосов, выпускаемых ведущими мировыми производителями вакуумной техники. Представлены ожидаемые характеристики планируемых к производству отечественных безмасляных спиральных вакуумных насосов.

Oil-free vacuum pumps find growing application in nano-industry. Scroll vacuum pumps are not produced in Russia at present. Characteristics of scroll pumps produced by industry-leading manufacturers are considered. Characteristics of oil-free scroll vacuum pumps which are planned to be produced in Russia are presented.

вакуумный насос безмасляный вакуум насос «сухого» сжатия откачные характеристики vacuum pump oil-free vacuum average vacuum pump "dry" compression the pumping characteristics вакуумный насос безмасляный вакуум насос «сухого» сжатия откачные характеристики vacuum pump oil-free vacuum average vacuum pump "dry" compression the pumping characteristics

Райков А. А. Экспериментально- теоретическое исследование индикаторных диаграмм кулачково-зубчатого вакуумного насоса / А.А. Райков, С.И. Саликеев, А.В. Бурмистров // Вестник Казанского технологического университета - 2011 - № 15. - C. 210-214. Raykov A. A. Eksperimental'no- teoreticheskoe issledovanie indikatornyh diagramm kulachkovo-zubchatogo vakuumnogo nasosa / A.A. Raykov, S.I. Salikeev, A.V. Burmistrov // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta - 2011 - № 15. - C. 210-214. Райков А. А., Саликеев С. И., Бурмистров А. В. Экспериментальное исследование безмасляного двухступенчатого комбинированного вакуумного насоса // Вестник Казанского технологического университета - 2010 - № 7. - C.190-192. Raykov A. A., Salikeev S. I., Burmistrov A. V. Eksperimental'noe issledovanie bezmaslyanogo dvuhstupenchatogo kombinirovannogo vakuumnogo nasosa // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta - 2010 - № 7. - C.190-192. Dry Scroll Vacuum Pumps [Электронный ресурс] / Anest Iwata. - USA.: Anest Iwata, 2013. - Режим дocтyпa: http://anestiwata.com/product-category/vacuum-pumps/, свободный. Dry Scroll Vacuum Pumps [Elektronnyy resurs] / Anest Iwata. - USA.: Anest Iwata, 2013. - Rezhim doctypa: http://anestiwata.com/product-category/vacuum-pumps/, svobodnyy. Agilent. Primary Vacuum Pumps [Электронный ресурс] / Agilent Technologies. - USA.: Agilent Technologies, 2013. - Режим доступа: http://www.chem.agilent.com/en-US/Products-Services/ Instruments-Systems/Vacuum-Technologies/ Primary-Vacuum-Pumps/Pages/ default.aspx, свободный. Agilent. Primary Vacuum Pumps [Elektronnyy resurs] / Agilent Technologies. - USA.: Agilent Technologies, 2013. - Rezhim dostupa: http://www.chem.agilent.com/en-US/Products-Services/ Instruments-Systems/Vacuum-Technologies/ Primary-Vacuum-Pumps/Pages/ default.aspx, svobodnyy. SCROLLVAC Scroll Vacuum Pumps [Электронный ресурс] / Oerlikon Corporate Switzerland. - Switzerland.: Oerlikon Corporate Switzerland, 2013.- Режим доступа: https://leyboldproducts.oerlikon.com/products/produktkatalog_03.aspx?cid=20_3, свободный. SCROLLVAC Scroll Vacuum Pumps [Elektronnyy resurs] / Oerlikon Corporate Switzerland. - Switzerland.: Oerlikon Corporate Switzerland, 2013.- Rezhim dostupa: https://leyboldproducts.oerlikon.com/products/produktkatalog_03.aspx?cid=20_3, svobodnyy. Edwards nXDS - the great new shape of dry vacuum pumping [Электронный ресурс] / Edwards Ltd. - United Kingdom.: Edwards Ltd, 2013. - режим доступа: http://www.edwardsvacuum. com/nxds/ en/index.html?cmpid=HomepageLink_nXDS0412, свободный. Edwards nXDS - the great new shape of dry vacuum pumping [Elektronnyy resurs] / Edwards Ltd. - United Kingdom.: Edwards Ltd, 2013. - rezhim dostupa: http://www.edwardsvacuum. com/nxds/ en/index.html?cmpid=HomepageLink_nXDS0412, svobodnyy. Busch:Info.Fossa - Spiral vacuum pump [Электронный ресурс] / Busch GmbH. -Germany.:Busch GmbH, 2013. - Режим доступа: http://www.busch.de/en/products/product-portfolio/ fossa/ info/, свободный. Busch:Info.Fossa - Spiral vacuum pump [Elektronnyy resurs] / Busch GmbH. -Germany.:Busch GmbH, 2013. - Rezhim dostupa: http://www.busch.de/en/products/product-portfolio/ fossa/ info/, svobodnyy.