Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 62187 ГИДРОДИНАМИКА, ТЕПЛО- И МАССООБМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ, ЭНЕРГЕТИКА ГИДРОДИНАМИКА, ТЕПЛО- И МАССООБМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ, ЭНЕРГЕТИКА РАСЧЕТ ГИДРАВЛИЧЕСКИХ СОПРОТИВЛЕНИЙ КАНАЛОВ ОХЛАЖДЕНИЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК РАЗЛИЧНОГО ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ РАСЧЕТ ГИДРАВЛИЧЕСКИХ СОПРОТИВЛЕНИЙ КАНАЛОВ ОХЛАЖДЕНИЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК РАЗЛИЧНОГО ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ Галеева Ф Т Галеева Ф Т next761@mail.ru Саликеева С Н Саликеева С Н svetmt@rambler.ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru 01 08 2025 01 08 2025 16 24 51 52 20 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/62187/view

Рассмотрены особенности водяного охлаждения вакуумных напылительных установок. Приведены рекомендации по наиболее эффективному способу их охлаждения. Проведены численные расчеты потерь давления в каналах круглого и треугольного поперечного сечения методом контрольных объемов в ламинарном и турбулентном режимах течения. Сравнение результатов численных расчетов с литературными данными показало хорошую сходимость.

The features of water cooling of vacuum sputtering units are examined. The recommendations on their best way cooling are presented. Numerical calculations of pressure losses in ducts of circular and triangular crosscut by control-volume by the method in laminar and turbulent flow regimes are performed. The comparison of numerical results with literature data shows a good convergence.

 гидравлическое сопротивление вакуумная установка каналы охлаждения метод контрольных объемов hydraulic resistance vacuum unit cooling channels control-volume method гидравлическое сопротивление вакуумная установка каналы охлаждения метод контрольных объемов hydraulic resistance vacuum unit cooling channels control-volume method

Патанкар С. Численные методы решения задач теплообмена и динамики жидкости. М.: ЭнергоАтомИздат, 1984. - 149 с. Patankar S. Chislennye metody resheniya zadach teploobmena i dinamiki zhidkosti. M.: EnergoAtomIzdat, 1984. - 149 s. Fluent Inc. Fluent 6.1 Users Guide, Lebanon, 2003. Fluent Inc. Fluent 6.1 Users Guide, Lebanon, 2003. Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика. Ч. 2. - М.: Наука, 1991. - 304 с. Abramovich G.N. Prikladnaya gazovaya dinamika. Ch. 2. - M.: Nauka, 1991. - 304 s. Захаров А.А., Сунгатуллин И.А., Саликеев С.И., Бурмистров А.В. Расчет проводимости профильных каналов спиральных безмасляных вакуумных насосов // Вестник Казан. технол. ун-та - 2010 - № 7. - C.193-196. Zaharov A.A., Sungatullin I.A., Salikeev S.I., Burmistrov A.V. Raschet provodimosti profil'nyh kanalov spiral'nyh bezmaslyanyh vakuumnyh nasosov // Vestnik Kazan. tehnol. un-ta - 2010 - № 7. - C.193-196. Бурмистров, А.В. Методы расчета проводимости криволинейных каналов в вязкостном режиме течения газа / А.В. Бурмистров, А.А. Райков, С.И. Саликеев // Вестник Казанского технологического университета. - 2012, Т15. - №11. - C.140-142. Burmistrov, A.V. Metody rascheta provodimosti krivolineynyh kanalov v vyazkostnom rezhime techeniya gaza / A.V. Burmistrov, A.A. Raykov, S.I. Salikeev // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - 2012, T15. - №11. - C.140-142. Spalart P. R., Allmaras S. R. A one-equation turbulence model for aerodynamic flows // AIAA-Paper 92-0439, 1992, p.1-21. Spalart P. R., Allmaras S. R. A one-equation turbulence model for aerodynamic flows // AIAA-Paper 92-0439, 1992, p.1-21. Nikuradze J. Stromungsgesetze in rauchen Rohrcn//VD1. 1933. N 361. S. 1653. Nikuradze J. Stromungsgesetze in rauchen Rohrcn//VD1. 1933. N 361. S. 1653. Идельчик И. Е. Справочник по гидравлическим сопротивлениям/ Под ред. М. О. Штейнберга. - М.: Машиностроение, 1992.- 672 с. Idel'chik I. E. Spravochnik po gidravlicheskim soprotivleniyam/ Pod red. M. O. Shteynberga. - M.: Mashinostroenie, 1992.- 672 s.