В результате проведенных исследований показана возможность моделирования процесса выбора параметров вакуумно—напылительного технологического комплекса в зависимости от требуемой толщины напыленного материала. Решение этой задачи приводит к оптимальному выбору звеньев вакуумно—напылительного технологического комплекса и оптимизации их параметров, где в качестве критерия оптимальности выступает эффективность технологического процесса.
The studies demonstrated the possibility of modeling the process of selecting parameters vacuum sputter technology complex, depending on the desired thickness of the deposited material. The solution to this problem leads to an optimal choice of units vacuum sputter engineering and optimization of their parameters, where the optimality criterion serves process efficiency.