Анализ взаимосвязи параметров вакуумно—напылительного технологического комплекса, параметров напылении и показателей качества процесса выявил, что наибольшее влияние оказывает коэффициент отражения и от него возможно контролировать все показатели качества процесса напыления. Оптимальным путем построения системы автоматического управления вакуумно—напылительного технологического комплекса, приводящим к стабилизации показателей качества технологического процесса, является стабилизация коэффициента отражения в зоне взаимодействия.
Analysis of the relationship parameters vacuum sputter process complex deposition parameters and process quality indicators revealed that the greatest effect on the reflection coefficient and it is possible to monitor all indicators of quality of the deposition process. The optimal way of building a system of automatic control vacuum sputter of technological complex, leading to stabilization of quality process is the stabilization of the reflection coefficient in the interaction zone.