TY JOUR TI KW ВЧ плазма KW пониженное давление KW нетканые материалы KW плазменная обработка KW математическое моделирование KW статистическая модель KW RF plasmas KW low pressure KW nonwoven materials KW plasma treatment KW mathematical modeling KW statistical modeling JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 15 PB Kazan National Research Technological University