TY  JOUR
TI  
KW  моделирование
KW  многослойные материалы
KW  плазменная обработка
KW  высокочастотный разряд
KW  пониженное давление
KW  simulation
KW  multilayer materials
KW  plasma treatment
KW  radio frequency discharge
KW  low pressure
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  15
PB  Kazan National Research Technological University