%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K моделирование, наночастицы, взаимодействие с плазмой, высокочастотный разряд, simulation, nanoparticles, interaction with a plasma, radio-frequency discharge
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 15
%P 2
%I Kazan National Research Technological University