TY  JOUR
TI  
KW  моделирование
KW  наночастицы
KW  взаимодействие с плазмой
KW  высокочастотный разряд
KW  simulation
KW  nanoparticles
KW  interaction with a plasma
KW  radio-frequency discharge
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  15
PB  Kazan National Research Technological University