TY JOUR TI KW неравновесная плазма KW порошки KW наночастицы KW адсорбированные загрязнения KW nonequilibrium plasma KW powder KW nanoparticle application KW adsorbed contamination JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 15 PB Kazan National Research Technological University