%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K струя, ВЧ плазма, температура, пониженное давлени, RF plasma, stream, temperature, low pressure
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 15
%P 3
%I Kazan National Research Technological University