%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K СВЧ плазма, нанокристаллический алмаз, мембраны, nanocrystalline diamond, membranes
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 15
%P 1
%I Kazan National Research Technological University