TY  JOUR
TI  
KW  СВЧ плазма
KW  нанокристаллический алмаз
KW  мембраны
KW  nanocrystalline diamond
KW  membranes
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  15
PB  Kazan National Research Technological University