TY JOUR TI KW Агрегация KW ограниченная диффузией KW фрактальная размерность KW дендриты KW диполь-дипольное взаимодействие KW ионная имплантация KW Diffusion limited aggregation KW fractal dimension KW dendrites KW dipole-dipole interaction KW ion implantation JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. PY 2025 IS 16 PB Kazan National Research Technological University