TY  JOUR
TI  
KW  магнетронная распылительная система
KW  «холодное» зеркало
KW  эндоскопия
KW  magnetron sputtering system
KW  "cold" mirrors
KW  endoscopy
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  16
PB  Kazan National Research Technological University