TY JOUR TI KW диоксид кремния KW измельчение KW планетарная мельница KW дисперсный состав KW исходное сырье KW плазмохимический синтез KW наночастицы KW silica KW grinding KW planetary mill KW the particulate composition KW the raw materials KW plasma-chemical synthesis KW nanoparticles JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 16 PB Kazan National Research Technological University