TY JOUR TI KW вакуумный насос KW безмасляный вакуум KW насос «сухого» сжатия KW откачные характеристики KW vacuum pump KW oil-free vacuum KW average vacuum KW pump "dry" compression KW the pumping characteristics JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 16 PB Kazan National Research Technological University