TY JOUR TI KW спиральный насос KW безмасляный вакуум KW откачные характеристики KW стенд испытаний KW spiral pump KW oil-free vacuum KW the pumping characteristics KW test unit JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 16 PB Kazan National Research Technological University