TY JOUR TI KW покрытие KW антифрикционность KW технология KW вакуум KW очистка KW распыление катодное KW расчет KW coating KW antifriction KW technology KW vacuum KW cleaning KW cathode dispersion KW calculation JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 16 PB Kazan National Research Technological University