%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K аргон-силановая плазма, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, аморфный кремний, струйное течение, математическое моделирование, silane argon plasma, RF glow discharge, thin films deposition, amorphous silicon, jet flow, mathematical modeling
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 16
%P 3
%I Kazan National Research Technological University