TY  JOUR
TI  
KW  аргон-силановая плазма
KW  высокочастотный разряд
KW  осаждение тонких пленок
KW  аморфный кремний
KW  струйное течение
KW  математическое моделирование
KW  silane argon plasma
KW  RF glow discharge
KW  thin films deposition
KW  amorphous silicon
KW  jet flow
KW  mathematical modeling
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  16
PB  Kazan National Research Technological University