TY JOUR TI KW спиральный вакуумный насос KW спиральный компрессор KW математическая модель KW сухое сжатие KW теплообмен KW массообмен KW scroll vacuum pump KW scroll compressor KW mathematical model KW dry compression KW heat exchange KW mass exchange JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 16 PB Kazan National Research Technological University