%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K Математическое моделирование, высокочастотный разряд, электронная температура, концентрация электронов, концентрация ионов, концентрация метастабильных атомов, Mathematical modeling, radio-frequency discharges, electron temperature, electron density, positive ion density, metastable density
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 16
%P 4
%I Kazan National Research Technological University