TY  JOUR
TI  
KW  Математическое моделирование
KW  высокочастотный разряд
KW  электронная температура
KW  концентрация электронов
KW  концентрация ионов
KW  концентрация метастабильных атомов
KW  Mathematical modeling
KW  radio-frequency discharges
KW  electron temperature
KW  electron density
KW  positive ion density
KW  metastable density
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  16
PB  Kazan National Research Technological University