TY  JOUR
TI  
KW  ВЧ плазма
KW  сплав
KW  пониженное давление
KW  RF plasma
KW  alloy
KW  low pressure
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  16
PB  Kazan National Research Technological University