%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K вакуумная установка, наноиндустрия, теплопроводность, vacuum unit, nanotech, conductivity
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 16
%P 1
%I Kazan National Research Technological University