TY JOUR TI KW спиральный вакуумный насос KW радиальная сила KW осевая сила KW подвижный спиральный элемент KW неподвижный спиральный элемент KW деформация спирали KW профильный зазор KW торцевой зазор KW безмасляный вакуум KW рабочая полость KW scroll vacuum pump KW radial force KW axial force KW orbiting scroll KW fixed scroll KW scroll deformation KW profile clearance KW face clearance KW oil-free vacuum KW working chamber JO Herald of Technological University AU , .. AU , .. AU , .. AU , .. PY 2025 IS 17 PB Kazan National Research Technological University