%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K плазматрон, тепловой расчет, индукционный ВЧ разряд, plasma generator, thermal analysis, inductively coupled RF discharge
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 17
%P 2
%I Kazan National Research Technological University