TY  JOUR
TI  
KW  плазматрон
KW  тепловой расчет
KW  индукционный ВЧ разряд
KW  plasma generator
KW  thermal analysis
KW  inductively coupled RF discharge
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  17
PB  Kazan National Research Technological University