%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K ионно-плазменное покрытие, модель Фольмера-Вебера, ВЧЕ плазменная обработка, ion-plasma coating, model of Volmer-Weber, high-frequency plasma processing
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 17
%P 2
%I Kazan National Research Technological University