TY  JOUR
TI  
KW  ионно-плазменное покрытие
KW  модель Фольмера-Вебера
KW  ВЧЕ плазменная обработка
KW  ion-plasma coating
KW  model of Volmer-Weber
KW  high-frequency plasma processing
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  17
PB  Kazan National Research Technological University