TY  JOUR
TI  
KW  ВЧ плазма
KW  спиральный насос
KW  пониженное давление
KW  RF plasma
KW  spiral pump
KW  low pressure
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  17
PB  Kazan National Research Technological University