TY  JOUR
TI  
KW  ВЧ плазма
KW  пониженное давление
KW  сверло
KW  дисковая фреза
KW  угловая фреза
KW  торцевая фреза
KW  RF plasma
KW  low pressure
KW  drill
KW  disc cutter
KW  corner cutter
KW  end mill
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  17
PB  Kazan National Research Technological University