TY  JOUR
TI  
KW  высокочастотный разряд низкого давления
KW  плазма
KW  физико-математическая модель
KW  Low frequency RF discharge
KW  plasma
KW  physico-mathematical model
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  17
PB  Kazan National Research Technological University