%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K ВЧ плазма, пониженное давление, инструментальная сталь, RF plasma, low pressure, tool steel
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 17
%P 3
%I Kazan National Research Technological University