%0 Journal Article
%T 
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%A , ..
%K масс-спектрометр, безмасляный вакуум, остаточный газ, вакуумный насос, экспериментальные исследования, состав газа, вакуумная система, спиральный насос, mass-spectrometer, oil-free vacuum, tail gas, a vacuum pump, the experimental studies, the composition of the gas, the vacuum system, scroll pump
%J Herald of Technological University
%D 2025
%N 17
%P 2
%I Kazan National Research Technological University