TY JOUR TI KW покрытие KW пленка KW нанесение KW модификация KW поверхность KW структура KW coating KW film KW deposition KW modification KW surface KW structure JO Herald of Technological University AU Kasperovich, A.V. AU Tashlykov, I.S. AU Shashok, Z.S. AU Shkodich, V.F. AU Stoyanov, O.V. PY 2025 IS 17 PB Kazan National Research Technological University