TY  JOUR
TI  
KW  CALS-система
KW  нанотехнология
KW  плазмохимия
KW  особо чистые материалы
KW  CALS-system
KW  nanotechnology
KW  plasma chemistry
KW  high purity materials
JO  Herald of Technological University
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
AU  , ..
PY  2025
IS  
PB  Kazan National Research Technological University