00829naa#a2200217#i#450# EN\\bibl\59621 20250925154135.4 3034-4689 20250801b2025####ek#y0engy0150####ca RUS RU Journal article Kazan Kazan National Research Technological University 2025 3 с. Journal article local Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них. 621.793 RUS vestniktu.ru