00526naa#a2200205#i#450# EN\\bibl\61465 20251001143359.3 3034-4689 20250801b2025####ek#y0engy0150####ca RUS RU Journal article Kazan Kazan National Research Technological University 2025 2 с. Journal article local Катодное распыление. 621.793.182 RUS vestniktu.ru