00517naa#a2200193#i#450# EN\\bibl\61938 20250825233957.1 3034-4689 20250801b2025####ek#y0engy0150####ca RUS RU Journal article Kazan Kazan National Research Technological University 2025 3 с. Journal article local путем испарения в вакууме. 621.793.14 RUS vestniktu.ru