00542naa#a2200181#i#450# EN\\bibl\61945 20250827134741.3 3034-4689 20250801b2025####ek#y0engy0150####ca RUS RU Journal article Kazan Kazan National Research Technological University 2025 0 с. Journal article local Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника. 533.5 RUS vestniktu.ru