Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 59465 ГИДРОДИНАМИКА, ТЕПЛО- И МАССООБМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ, ЭНЕРГЕТИКА ГИДРОДИНАМИКА, ТЕПЛО- И МАССООБМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ, ЭНЕРГЕТИКА ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ЗОНДОВОЙ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ЗОНДОВОЙ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ Булаева М Н Булаева М Н Кирпичников А П Кирпичников А П kirpichnikov@kstu.ru Кравченко И В Кравченко И В Лёб Х В Лёб Х В Машеров П Е Машеров П Е Рябый В А Рябый В А Ткаченко Д П Ткаченко Д П Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru КНИТУ ru КНИТУ ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Московский авиац. ин-т (МАИ) ru Военный ин-т МАИ ru Военный ин-т МАИ ru 01 08 2025 01 08 2025 15 18 69 73 19 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/59465/view

Выявлен новый источник возмущений, вносимых в плазму зондом Ленгмюра. Возмущение возникает при использовании неизолированного металлического экрана, окружающего зондодержатель. При контакте экрана с плазмой, потенциал пространства которой в общем случае неоднороден, в экран отбирается часть плазменного тока, которая уменьшает плазменный ток (газового разряда или амбиполярной диффузии) и снижает степень ионизации плазмы. При этом экран уподобляется короткозамкнутому, несимметричному двойному макро-зонду. Понимание сути механизма нового возмущения дало путь к его минимизации, состоящий в необходимости электрически изолировать экран от плазмы.

New source of plasma perturbations caused by a Langmuir probe is disclosed. Th е phenomenon appears when a bare metal screen surrounding a probe-holder is incorporated. While in contact with plasmas that generally have a non-uniform space potential distribution, the screen diverts a portion of plasma current (discharge or ambipolar one) which is reduced lowering plasma ionization degree. In this situation the probe-holder’s screen behaves like a short-circuited, asymmetric double macro-probe. Understanding the essence of a new perturbation mechanism gives the way to its minimization: one has to insulate the screen from plasma.

зонд Ленгмюра плазма зондовые возмущения ВЧ наводки проводящее тело Langmuir probe plasma probe perturbations RF interference conducting body зонд Ленгмюра плазма зондовые возмущения ВЧ наводки проводящее тело Langmuir probe plasma probe perturbations RF interference conducting body

В.Л. Грановский, Электрический ток в газе, т.Общие вопросы электродинамики газов. ГИТТЛ, Москва-Ленинград, 1952, С. 253-282. V.L. Granovskiy, Elektricheskiy tok v gaze, t.Obschie voprosy elektrodinamiki gazov. GITTL, Moskva-Leningrad, 1952, S. 253-282. V.A. Godyak, V.I. Demidov, J. Phys. D: Appl. Phys., 44, paper No. 233001 (2011). V.A. Godyak, V.I. Demidov, J. Phys. D: Appl. Phys., 44, paper No. 233001 (2011). V.A. Godyak, B.M. Alexandrovich, V.I. Kolobov, Phys. Rev. E, 64, paper No. 026406 (2001). V.A. Godyak, B.M. Alexandrovich, V.I. Kolobov, Phys. Rev. E, 64, paper No. 026406 (2001). V.A. Godyak, R.B. Piejak, B.M. Alexandrovich, Plasma Sources: Science and Technology, 11, (2002), P. 525-543. V.A. Godyak, R.B. Piejak, B.M. Alexandrovich, Plasma Sources: Science and Technology, 11, (2002), P. 525-543. П.П. Кулик, В.А. Рябый, Н.В. Ермохин, Неидеальная плазма. ЭНЕРГОАТОМИЗДАТ, Москва, 1984, С. 75-77. P.P. Kulik, V.A. Ryabyy, N.V. Ermohin, Neideal'naya plazma. ENERGOATOMIZDAT, Moskva, 1984, S. 75-77. В.Н. Бойных, Б.Г. Бородач, В.В. Воробьёв, И.С. Граф, Л. Ю. Захарова, С. О. Изидинов, М.И. Кондаков, В.А. Рябый, A.A. Спорыхин, А.В. Стебунов, Применение плазмы и плазмохимических технологий для промышленного производства полупроводников.- Обзор Министерства электротехники СССР, серия 05, выпуск 3 (13). ИНФОРМЭЛЕКТРО, Москва, 1987, С. 11-13. V.N. Boynyh, B.G. Borodach, V.V. Vorob'ev, I.S. Graf, L. Yu. Zaharova, S. O. Izidinov, M.I. Kondakov, V.A. Ryabyy, A.A. Sporyhin, A.V. Stebunov, Primenenie plazmy i plazmohimicheskih tehnologiy dlya promyshlennogo proizvodstva poluprovodnikov.- Obzor Ministerstva elektrotehniki SSSR, seriya 05, vypusk 3 (13). INFORMELEKTRO, Moskva, 1987, S. 11-13. N.A. Iermolova, A.V. Maliarov, V.A. Riaby, V.P. Savinov, A.A. Sporykhin, L.N. Scheiko, V.G. Yakunin, XX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (Il Ciocco, Italy, 1991). Invited Papers. Felici Editore, Pisa, 1991. Volume 1. P. 325-326. N.A. Iermolova, A.V. Maliarov, V.A. Riaby, V.P. Savinov, A.A. Sporykhin, L.N. Scheiko, V.G. Yakunin, XX International Conference on Phenomena in Ionized Gases (Il Ciocco, Italy, 1991). Invited Papers. Felici Editore, Pisa, 1991. Volume 1. P. 325-326. A.F. Alexandrov, V.A. Riaby, V.P. Savinov, V.G. Yakunin, XI International Conference on Gas Discharges and their Applications (Tokyo, September 1995). Invited Papers. Tokyo, 1995. Part 1. P. 498-502. A.F. Alexandrov, V.A. Riaby, V.P. Savinov, V.G. Yakunin, XI International Conference on Gas Discharges and their Applications (Tokyo, September 1995). Invited Papers. Tokyo, 1995. Part 1. P. 498-502. H.-J. Lee, V.A. Riaby, V.Yu. Plaksin, International Conference on Advanced Technologies (Cheju, 2006). Invited Papers. Cheju National University, Cheju, 2006. P.11-20. H.-J. Lee, V.A. Riaby, V.Yu. Plaksin, International Conference on Advanced Technologies (Cheju, 2006). Invited Papers. Cheju National University, Cheju, 2006. P.11-20. H.-J. Lee, Y.-S. Mok, V.Yu. Plaksin, V.A. Riaby, Международный патент WO2007/114556 (2007). H.-J. Lee, Y.-S. Mok, V.Yu. Plaksin, V.A. Riaby, Mezhdunarodnyy patent WO2007/114556 (2007). Гайнуллин, А.Р. Герке, А.П. Кирпичников Измерение параметров низкотемпературной плазмы высокочастотного разряда магнитным зондом // Вестник Казанского технологического университета. - Казань: КГТУ, 2007. - №3-4. - С. 130-134. Gaynullin, A.R. Gerke, A.P. Kirpichnikov Izmerenie parametrov nizkotemperaturnoy plazmy vysokochastotnogo razryada magnitnym zondom // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - Kazan': KGTU, 2007. - №3-4. - S. 130-134. Р.Н. Гайнуллин, А.Р. Герке, А.П. Кирпичников Расчёт параметров низкотемпературной плазмы высокочастотного индукционного разряда // Вестник Казанского технологического университета. - Казань: КГТУ, 2007. - №3-4. - С. 154-160 R.N. Gaynullin, A.R. Gerke, A.P. Kirpichnikov Raschet parametrov nizkotemperaturnoy plazmy vysokochastotnogo indukcionnogo razryada // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - Kazan': KGTU, 2007. - №3-4. - S. 154-160