Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 59900 ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ МЕМБРАН МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ В СВЧ ПЛАЗМЕ СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ МЕМБРАН МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ В СВЧ ПЛАЗМЕ Седов В С Седов В С sedovvadim@yandex.ru Ральченко В Г Ральченко В Г ralchenko@nsc.gpi.ru Комленок М С Комленок М С komlenok@nsc.gpi.ru Хомич А А Хомич А А Власов И И Власов И И vlasov@kapella.gpi.ru Конов В И Конов В И vik@nsc.gpi.ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, ООО «СВД.Спарк» г.Троицк ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, ООО «СВД.Спарк» г.Троицк ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН; ООО «СВД.Спарк» г.Троицк ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН; ООО «СВД.Спарк» г.Троицк ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН ru 01 08 2025 01 08 2025 15 24 56 57 19 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/59900/view

Методом химического осаждения из смеси метан-водород в СВЧ-плазме выращены слои нанокристаллического алмаза толщиной около 300 нм на кремниевой подложке, из которых затем локальным удалением Si сформированы алмазные мембраны диаметром 100-200 мкм. Наличие алмазной структуры подтверждено спектрами комбинационного рассеяния (КР). В спектре фотолюминесценции (ФЛ) мембран регистрируется интенсивный пик на длине волны 738 нм, соответствующий свечению центров окраски кремний-вакансия ( Si - V ) в алмазе. Полученные мембраны могут быть использованы для создания микрорезонаторов для фотоники, избирательно усиливающих ФЛ на заданной длине волны.

Nanocrystalline diamond layers with thickness of ca. 300 nm were grown on silicon substrates by microwave plasma chemical vapor deposition. Using this layer as a base, diamond membranes with diameter 100-200 μm were formed by local etching of silicon. The diamond nature of the membranes was confirmed by Raman spectroscopy. Photoluminescence (PL) spectra reveled an intense peak at a wavelength of 738 nm, corresponding to emission from silicon-vacancy (Si-V) center in diamond. The produced membranes can be of interest for fabrication of microresonators for photonics selectively enhancing PL intensity at certain wavelengths.

СВЧ плазма нанокристаллический алмаз мембраны nanocrystalline diamond membranes СВЧ плазма нанокристаллический алмаз мембраны nanocrystalline diamond membranes

I. Aharonovich, A.D. Greentree, S. Prawer Nature Photonics, 5, 397-405 (2011). I. Aharonovich, A.D. Greentree, S. Prawer Nature Photonics, 5, 397-405 (2011). S. Pezzagna, D. Rogalla1, D. Wildanger, J. Meijer, A. Zaitsev New Journal of Physics 13, 035024 (2011). S. Pezzagna, D. Rogalla1, D. Wildanger, J. Meijer, A. Zaitsev New Journal of Physics 13, 035024 (2011). I.I. Vlasov, A.S. Barnard, V.G. Ralchenko, O.I. Lebedev, M.V. Kanzyuba, A.V. Saveliev, V.I. Konov, E.Goovaerts et al. Adv. Mater., 21, 808-812 (2009). I.I. Vlasov, A.S. Barnard, V.G. Ralchenko, O.I. Lebedev, M.V. Kanzyuba, A.V. Saveliev, V.I. Konov, E.Goovaerts et al. Adv. Mater., 21, 808-812 (2009). J. Riedrich-Möller, L. Kipfstuhl, C. Hepp, E. Neu, C. Pauly, F. Mücklich, A. Baur, M. Wandt, S. Wolff, M. Fischer, S. Gsell, M. Schreck, and C. Becher Nature Nanotechnology 7, 69-74 (2012). J. Riedrich-Möller, L. Kipfstuhl, C. Hepp, E. Neu, C. Pauly, F. Mücklich, A. Baur, M. Wandt, S. Wolff, M. Fischer, S. Gsell, M. Schreck, and C. Becher Nature Nanotechnology 7, 69-74 (2012). www.cvd-diamond.ru. www.cvd-diamond.ru. 6. В.С. Седов, И.И. Власов, В.Г. Ральченко, А.А. Хомич, В.И. Конов, A.G. Fabbri, G. Conte Краткие сообщения по физике, 3, 14-21 (2011) 6. V.S. Sedov, I.I. Vlasov, V.G. Ral'chenko, A.A. Homich, V.I. Konov, A.G. Fabbri, G. Conte Kratkie soobscheniya po fizike, 3, 14-21 (2011)