Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 61404 ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПРИКЛАДНАЯ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НИТРИДНОГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО РАЗРЯДА АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИЕЙ ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НИТРИДНОГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО РАЗРЯДА АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИЕЙ Абдуллин И Ш Абдуллин И Ш tkim1@kstu.ru Миронов М М Миронов М М Васильев И И Васильев И И ilham.v@ya.ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru 01 08 2025 01 08 2025 16 17 49 50 19 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/61404/view

Приведены экспериментальные результаты исследований начальных стадий роста покрытия TiN. Покрытие получали методом конденсации из плазменной фазы в условиях ионной бомбардировки. Показано, что для рассмотренных условий конденсации рост покрытия происходит в соответствии с механизмом Фольмера –Вебера. На начальных стадиях роста покрытия (до 55 секунд) скорость составило 0,08нм/с а размеры островков достигли до 40-50нм с высотой 3-4 нм.

The shown the experimental results of research into the initial stages of coating TiN growth. Growth of the coating takes place in accordance with the mechanism of the Volmer-Weber. Coating obtained by condensation of the plasma phase in ion bombardment. In the initial stages of coating growth (up to 55 seconds), the rate was 0.08 nm / s and the size of the islands reached the up to 40-50nm and height to 3-4 nm.

конденсация методом КИБ TiN АСМ condensation by PVD TiN AFM конденсация методом КИБ TiN АСМ condensation by PVD TiN AFM

И.Ш. Абдуллин, И.И.Васильев. Вестник Казанского технологического университета, 5, 180-181 (2013). I.Sh. Abdullin, I.I.Vasil'ev. Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta, 5, 180-181 (2013). И.Ш. Абдуллин, И.И.Васильев. Вестник Казанского технологического университета, 14, 27 (2012). I.Sh. Abdullin, I.I.Vasil'ev. Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta, 14, 27 (2012). В.М. Хороших, С.А. Леонов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева. Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ, 4, (2009). V.M. Horoshih, S.A. Leonov, V.A. Belous, G.N. Tolmacheva. Institut fiziki tverdogo tela, materialovedeniya i tehnologiy NNC HFTI, 4, (2009). А.Г. Бембель, В.М. Самсонов, М.Ю. Пушкарь. Фазовые переходы, упорядоченные состояния и новые материалы, 12, (2009). A.G. Bembel', V.M. Samsonov, M.Yu. Pushkar'. Fazovye perehody, uporyadochennye sostoyaniya i novye materialy, 12, (2009). В.Н. Анциферов, А.Л. Каменева. Известия Вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия, 1,53 (2007). V.N. Anciferov, A.L. Kameneva. Izvestiya Vuzov. Poroshkovaya metallurgiya i funkcional'nye pokrytiya, 1,53 (2007).