Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 62060 Управление, информатика и вычислительная техника Управление, информатика и вычислительная техника ТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА В АРГОНЕ ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ ТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА В АРГОНЕ ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ Абдуллин И Ш Абдуллин И Ш Желтухин В С Желтухин В С vzheltukhin@gmail.com Чебакова В Ю Чебакова В Ю vchebakova@mail.ru Шнейдер М Н Шнейдер М Н shneyder@princeton.edu КНИТУ ru КНИТУ ru КФУ ru КФУ ru КФУ ru КФУ ru Принстонский университет (США) ru Принстонский университет (США) ru 01 08 2025 01 08 2025 16 22 334 338 20 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/62060/view

В работе построена одномерная математическая модель нестационарного высокочастотного емкостного разряда пониженного давления при больших межэлектродных расстояниях. Показано, что определяющую роль в формирование разряда играют процессы, происходящие в приэлектродных слоях, а так же процессы возбуждения и девозбуждения метастабильных атомов в объеме разряда.

One-dimensional model of non-stationary low pressure RF discharge at large-scale inter-electrode distances is constructed. It is shown that processes occurring in the near-electrode layer plays a decisive role in a discharge formation as well as gas excitation and heating in bulk discharge.

Математическое моделирование высокочастотный разряд электронная температура концентрация электронов концентрация ионов концентрация метастабильных атомов Mathematical modeling radio-frequency discharges electron temperature electron density positive ion density metastable density Математическое моделирование высокочастотный разряд электронная температура концентрация электронов концентрация ионов концентрация метастабильных атомов Mathematical modeling radio-frequency discharges electron temperature electron density positive ion density metastable density

Р. Оулет. М. ,Барбье, П. Черемисинофф и др. Технологическое применение низкотемпературной плазмы. М: Энергоатомиздат, 1983.- 144с R. Oulet. M. ,Barb'e, P. Cheremisinoff i dr. Tehnologicheskoe primenenie nizkotemperaturnoy plazmy. M: Energoatomizdat, 1983.- 144s В.В. Кудинов,Н.В. Корнеева // Матер. Международ. конф. «Физ. Высокочастот. разрядов» и Международ. школы молодых ученых и специалистов «Высокочастот. разряд: теория и техн.».- Казань, октябрь 2011 г. / Казан. нац. исслед. технол. ун-т, 2011. - С. 35-35. V.V. Kudinov,N.V. Korneeva // Mater. Mezhdunarod. konf. «Fiz. Vysokochastot. razryadov» i Mezhdunarod. shkoly molodyh uchenyh i specialistov «Vysokochastot. razryad: teoriya i tehn.».- Kazan', oktyabr' 2011 g. / Kazan. nac. issled. tehnol. un-t, 2011. - S. 35-35. И.Ш.Абдуллин, В.С. Желтухин, Н.Ф. Кашапов. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения.- Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2000.- 348 с. I.Sh.Abdullin, V.S. Zheltuhin, N.F. Kashapov. Vysokochastotnaya plazmenno-struynaya obrabotka materialov pri ponizhennyh davleniyah. Teoriya i praktika primeneniya.- Kazan': Izd-vo Kazan. un-ta, 2000.- 348 s. Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер, Н.А. Яценко. Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения. - М.: Изд-во МФТИ, 1995.- 320 с. Yu.P. Rayzer, M.N. Shneyder, N.A. Yacenko. Vysokochastotnyy emkostnyy razryad: Fizika. Tehnika eksperimenta. Prilozheniya. - M.: Izd-vo MFTI, 1995.- 320 s. В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Вест. Харьк. нац. ун-та. Сер. физ.: ядра, частицы, поля.- 2010. - № 887, вып. 1 (45), С. 81-87. V.A. Lisovskiy, N.D. Harchenko // Vest. Har'k. nac. un-ta. Ser. fiz.: yadra, chasticy, polya.- 2010. - № 887, vyp. 1 (45), S. 81-87. А.Н. Ткачев, А.А Феденев, С.И. Яковленко // Ж. техн. физ.- 2007. - Т. 77, № 6. - С. 22-27. A.N. Tkachev, A.A Fedenev, S.I. Yakovlenko // Zh. tehn. fiz.- 2007. - T. 77, № 6. - S. 22-27. Р. Dimitris Lymberopoulos, Demetre J.Economou // J. Appl. Phys.- 1993.- Vol. 73, № 8, P. 3668-3679. R. Dimitris Lymberopoulos, Demetre J.Economou // J. Appl. Phys.- 1993.- Vol. 73, № 8, P. 3668-3679. Б.Т. Байсова, В.И. Струнин, Н.Н Струнина, Г.Ж.Худайбергенов // Ж. техн. физ.- 2003.- Т. 73, № 8.- С. 30-33 B.T. Baysova, V.I. Strunin, N.N Strunina, G.Zh.Hudaybergenov // Zh. tehn. fiz.- 2003.- T. 73, № 8.- S. 30-33 Н.А. Дятко, Ю.З. Ионих, А.В. Мещанов, А.П. Напартович // Физ. плазмы.- 2005._- Т. 31, № 10.- С. 939-953. N.A. Dyatko, Yu.Z. Ionih, A.V. Meschanov, A.P. Napartovich // Fiz. plazmy.- 2005._- T. 31, № 10.- S. 939-953. Б.М. Смирнов. Возбужденные атомы.- М.: Энергоиздат, 1982.- 232 с. B.M. Smirnov. Vozbuzhdennye atomy.- M.: Energoizdat, 1982.- 232 s. М. Митчнер, Ч. Кругер. Частично-ионизованные газы. М.: Мир, 1976.- 496с. M. Mitchner, Ch. Kruger. Chastichno-ionizovannye gazy. M.: Mir, 1976.- 496s. Ю.П.Райзер. Физика газового разряда.- М.: Наука, 1987.- 592 c Yu.P.Rayzer. Fizika gazovogo razryada.- M.: Nauka, 1987.- 592 c Ю.П. Райзер , М.Н. Шнейдер // Теплофиз. высоких температур.- 1991.- Т. 29, № 6.- С. 1041-1052. Yu.P. Rayzer , M.N. Shneyder // Teplofiz. vysokih temperatur.- 1991.- T. 29, № 6.- S. 1041-1052. В.Г. Фастовский ,А.Е Ровинский , Ю.В. Петровский Инертные газы.- М.: Атомиздат, 1972.- 352 с. V.G. Fastovskiy ,A.E Rovinskiy , Yu.V. Petrovskiy Inertnye gazy.- M.: Atomizdat, 1972.- 352 s. А. А Самарский, П.Н. Вабищевич. Численные методы решения задач конвекции-диффузии.- М.: Эдиториал УРСС, 1999.- 248с. A. A Samarskiy, P.N. Vabischevich. Chislennye metody resheniya zadach konvekcii-diffuzii.- M.: Editorial URSS, 1999.- 248s.