Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 63119 ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ СТЕНД БЕЗМАСЛЯНОЙ ОТКАЧКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ СТЕНД БЕЗМАСЛЯНОЙ ОТКАЧКИ Бурцев С А Бурцев С А sergege@yandex.ru Булаев С А Булаев С А s_s26@rambler.ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru КНИТУ ru 01 08 2025 01 08 2025 17 9 228 229 20 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/63119/view

В статье описывается конструкция и особенности эксплуатации стенда безмасляной откачки, состоящего из адсорбционного вакуумного насоса и мембранного вакуумного насоса.

This article describes the design and operating features of oil-free pumping unit, consisting of the adsorption and a diaphragm vacuum pump.

адсорбционный вакуумный насос стенд безмасляной откачки adsorption vacuum pump oil-free pumping unit адсорбционный вакуумный насос стенд безмасляной откачки adsorption vacuum pump oil-free pumping unit

Бурмистров, А.В. Некоторые аспекты выбора безмасляных насосов среднего вакуума / А.В. Бурмистров, С.И. Саликеев, А.А. Райков // Вестник Казанского технологического университета. - 2013, Т.16. - № 10. - C.220-223. Burmistrov, A.V. Nekotorye aspekty vybora bezmaslyanyh nasosov srednego vakuuma / A.V. Burmistrov, S.I. Salikeev, A.A. Raykov // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - 2013, T.16. - № 10. - C.220-223. Гаврилов, А.В. Лабораторный стенд для исследования эжекторов, предвключенных к водокольцевому насосу / А.В. Гаврилов, С.А. Бурцев // Вестник Казанского технологического университета. - 2014, Т.17. - № 4. - C.223-224. Gavrilov, A.V. Laboratornyy stend dlya issledovaniya ezhektorov, predvklyuchennyh k vodokol'cevomu nasosu / A.V. Gavrilov, S.A. Burcev // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - 2014, T.17. - № 4. - C.223-224. Вакуумная техника: справочник / под редакцией К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. - 3- изд., перераб. и доп. - М.: Машиностроение, 2009. -590 с. Vakuumnaya tehnika: spravochnik / pod redakciey K.E. Demihova, Yu.V. Panfilova. - 3- izd., pererab. i dop. - M.: Mashinostroenie, 2009. -590 s. Ануфриева И.В. Исследование и разработка комплекса безмасляных средств форвакуумной откачки для оборудования высоких вакуумных технологий электронной техники: дисс.. канд. тех. наук / ФГУП «НИИВТ им. С.А. Векшинского», И.В. Ануфриева. - М., 2004. -166с. Anufrieva I.V. Issledovanie i razrabotka kompleksa bezmaslyanyh sredstv forvakuumnoy otkachki dlya oborudovaniya vysokih vakuumnyh tehnologiy elektronnoy tehniki: diss.. kand. teh. nauk / FGUP «NIIVT im. S.A. Vekshinskogo», I.V. Anufrieva. - M., 2004. -166s. Кельцев Н.В. Основы адсорбционной техники / Н. В. Кельцев. - М. : Химия, 1976. - 512c Kel'cev N.V. Osnovy adsorbcionnoy tehniki / N. V. Kel'cev. - M. : Himiya, 1976. - 512c