Herald of Technological University Herald of Technological University ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 3034-4689 63383 ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ СТЕНД ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МАСС-СПЕКТРА ОСТАТОЧНОГО ГАЗА БЕЗМАСЛЯНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ И АГРЕГАТОВ СТЕНД ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МАСС-СПЕКТРА ОСТАТОЧНОГО ГАЗА БЕЗМАСЛЯНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ И АГРЕГАТОВ Гаврилов А В Гаврилов А В vacuum-ag@yandex.ru Саликеев С И Саликеев С И salikeev_s@mail.ru Бурмистров А В Бурмистров А В burm@kstu.ru Гимадиев И Ш Гимадиев И Ш Свидетелев А Н Свидетелев А Н КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru КНИТУ; KNRTU ru 01 08 2025 01 08 2025 17 12 129 131 20 04 2023 https://vestniktu.ru/en/nauka/article/63383/view

В статье изложено описание масс-спектрометрической установки на базе квадрупольного масс-спектрометра для исследования масс-спектра остаточного газа спиральных вакуумных насосов, а также методика проведения эксперимента.

The article describes the description of mass-spectrometry facility based on a quadrupole mass-spectrometer for the study of the mass-spectrum of the tail gas from scroll vacuum pumps, as well as the experimental technique.

 масс-спектрометр безмасляный вакуум остаточный газ вакуумный насос экспериментальные исследования состав газа вакуумная система спиральный насос mass-spectrometer oil-free vacuum tail gas a vacuum pump the experimental studies the composition of the gas the vacuum system scroll pump масс-спектрометр безмасляный вакуум остаточный газ вакуумный насос экспериментальные исследования состав газа вакуумная система спиральный насос mass-spectrometer oil-free vacuum tail gas a vacuum pump the experimental studies the composition of the gas the vacuum system scroll pump

Duval, P. Will tomorrows high-vacuum pumps be universal or highly specialized? / P. Duval // Journal of Vacuum Science and Technology. - 1987. - V. 5, A5. - P. 2546-2551. Duval, P. Will tomorrows high-vacuum pumps be universal or highly specialized? / P. Duval // Journal of Vacuum Science and Technology. - 1987. - V. 5, A5. - P. 2546-2551. Современное состояние рынка безмасляных форвакуумных средств откачки / И. В. Ануфриева, Ю. К. Васильев, В. Н. Кеменов, С. Б. Нестеров, Т. С. Строгова // Вакуумная техника и технология. - 2003. - Т.13, № 2. - C. 93-99. Sovremennoe sostoyanie rynka bezmaslyanyh forvakuumnyh sredstv otkachki / I. V. Anufrieva, Yu. K. Vasil'ev, V. N. Kemenov, S. B. Nesterov, T. S. Strogova // Vakuumnaya tehnika i tehnologiya. - 2003. - T.13, № 2. - C. 93-99. Бурмистров, А.В. Некоторые аспекты выбора безмасляных насосов среднего вакуума / А.В. Бурмистров, С.И. Саликеев, А.А. Райков // Вестник Казанского технологического университета. - 2013, Т.16. - № 10. - C.220-223. Burmistrov, A.V. Nekotorye aspekty vybora bezmaslyanyh nasosov srednego vakuuma / A.V. Burmistrov, S.I. Salikeev, A.A. Raykov // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - 2013, T.16. - № 10. - C.220-223. Бурмистров А.В. Стенд исследовательских испытаний безмасляных спиральных вакуумных насосов / А.В. Бурмистров, А.А. Райков, С.И. Саликеев, А.В. Гаврилов, В.П. Матвеев // Вестник Казанского технологического университета. - 2013 , Т.16. - № 14 C. 174-177. Burmistrov A.V. Stend issledovatel'skih ispytaniy bezmaslyanyh spiral'nyh vakuumnyh nasosov / A.V. Burmistrov, A.A. Raykov, S.I. Salikeev, A.V. Gavrilov, V.P. Matveev // Vestnik Kazanskogo tehnologicheskogo universiteta. - 2013 , T.16. - № 14 C. 174-177. Microvision 2 Residual Gas Analyzer (RGA). - Режим доступа: http://www.mksinst.com/product/product.aspx?ProductID=184/, свободный Microvision 2 Residual Gas Analyzer (RGA). - Rezhim dostupa: http://www.mksinst.com/product/product.aspx?ProductID=184/, svobodnyy Dry Scroll Vacuum Pumps [Электронный ресурс] / AnestIwata. - USA.: Anest Iwata,2013.- Режим доступа: http://anestiwata.com/product-category/vacuum-pumps/, свободный. Dry Scroll Vacuum Pumps [Elektronnyy resurs] / AnestIwata. - USA.: Anest Iwata,2013.- Rezhim dostupa: http://anestiwata.com/product-category/vacuum-pumps/, svobodnyy. Busch: Info.Fossa- Spiral vacuum pump [Электронныйресурс] / BuschGmbH.-Germany.:BuschGmbH,2013. - Режим доступа: http://www.busch.de/en/ products/product-portfolio/fossa/info/, свободный. Busch: Info.Fossa- Spiral vacuum pump [Elektronnyyresurs] / BuschGmbH.-Germany.:BuschGmbH,2013. - Rezhim dostupa: http://www.busch.de/en/ products/product-portfolio/fossa/info/, svobodnyy.