TY JOUR TI МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ МНОГОСЛОЙНЫХ МАТЕРИАЛОВ ЗАГОТОВКИ ВЕРХА ОБУВИ KW моделирование KW многослойные материалы KW плазменная обработка KW высокочастотный разряд KW пониженное давление KW simulation KW multilayer materials KW plasma treatment KW radio frequency discharge KW low pressure JO ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА AU Тихонова, Н.В. AU Желтухин, В.С. AU Чебакова, В.Ю. AU Бородаев, И.А. PY 2025 IS 15 PB Казанский национальный исследовательский технологический университет