%0 Journal Article %T ВЛИЯНИЕ SO 4 2 - ИОНОВ НА МОРФОЛОГИЮ ТУННЕЛЕЙ ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЕВОЙ ФОЛЬГИ %A Шавкунов, С.П. %A Панов, И.В. %K электролитическое травление, фольга, туннели травления, electrolytic etching, foil tunnels etching %J ВЕСТНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА %D 2025 %N 15 %P 3 %I Казанский национальный исследовательский технологический университет